HDH-100真空等離子清洗機適用于批量生產及科學研究，廣泛應用于芯片、攝像頭模組、P0、FP0、晶元等產品表面處理，有效去除表面油性污垢和有機污染物粒子，提高表面粘接，涂覆
的可靠性和持久性，提升封裝穩定性。
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基本參數 |
真空等離子設備HDH-100 |
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外形尺寸 |
900*900*1600（W*D*H） |
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重量 |
150KG |
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射頻電源 |
功率:0~600W 頻率：13.56MHz |
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中頻電源 |
功率:0~1000W 頻率：40KHz |
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流量范圍 |
0~300SCCM |
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工藝氣體氣路 |
標配兩路，可定制 |
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系統控制 |
PLC |
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雙級旋片泵（油泵） |
40m3/h |
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真空管路 |
全不銹鋼管路，以及高強度真空波紋管 |
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材質 |
鋁合金（可定制不銹鋼腔體） |
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厚度 |
25mm |
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腔體內部尺寸 |
375×375×430mm（寬×高×深） |
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電極板有效尺寸 |
345×344mm（寬×深） |
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可用空間間距 |
22.5mm |
